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鉑悅儀器(上海)有限公司

您當前的所在位置為:9彩彩票??>??產品中心??>???薄膜應力量測儀??>??薄膜應力及基底翹曲測試設備FSM 500TC

薄膜應力及基底翹曲測試設備FSM 500TC

品 牌:Frontier Semiconductor

產 地:美國

型 號:FSM 500TC

關鍵詞標簽:高溫薄膜應力測試系統;薄膜應力;晶弓量測系統;非接觸激光掃描;FSM 500
021-37018108在線留言

產品簡介:
       FSM 500TC 200mm 高溫應力測試系統可以幫助研發和工藝工程師評估薄膜的熱力學性能和穩定性特性9彩彩票,主要應用于半導體,三-五族,太陽能9彩彩票,LED,數據存儲,微機電和面板產業9彩彩票。這些特性有助于檢測到諸如薄膜開裂,空隙,突起等可能在生產過程中導致嚴重的可靠性問題。在新工藝和材料投入生產前,FSM500TC作為檢驗其成熟性的工具,起著極為重要的作用。

       FSM 500TC 200mm簡潔的用戶界面,使其很容易被專門的操作人員或者偶爾使用的研發人員在研發或者生產環境下進行室溫和高溫環境下的應力測試9彩彩票9彩彩票。

 

主要設計特性:
·  多用途:
兼容50-200mm晶圓,無需要更換樣品載片臺和夾具9彩彩票,可以在室溫和高溫下測試晶圓應力和晶圓彎曲。
·  樣品容易放置和回收
通過使用定位銷使得晶圓很容易放置到 FSM 500TC內進行重復操作
·  自動切換雙波段激光
具有專利的自動激光切換掃描技術.當樣品反射率不好時,系統會自動切換到不同波長的另外一只激光進行掃描。這使客戶可以測量包括Nitride9彩彩票,Polyimides, Low K,HighK,金屬等幾乎所有的薄膜而不會遇到無法測量的問題。
·  可編程溫度周期
加熱周期菜單可編程為單個或者多個運行在不同的升溫速率和退火溫度條件下,進行薄膜材料的熱穩定性檢測。
·  數據管理和報告
測試結果可用應力vs溫度9彩彩票,應力vs時間, 或者晶弓vs溫度為坐標生成圖表,方便顯示和輸出成 Excel™ 或者 Word格式的報告。熱膨脹系數計算應用是FSM500TC的標準功能9彩彩票。

相互疊加的多個加熱周期,測試結果的圖表和MAP可以很容易輸出為Excel或者 Word文檔生成報告9彩彩票。

 

主要應用于半導體, 光電&液晶面板產業

 

 

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