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鉑悅儀器(上海)有限公司

您當前的所在位置為:9彩彩票??>??新聞資訊??>??布魯克Dektak XT探針式表面輪廓儀

布魯克Dektak XT探針式表面輪廓儀

發布時間:2018-11-13瀏覽:428

       自1968年第yi臺Dektak 面世以來,探針式表面輪廓儀迄今已有50年的發展歷程。通過整合技術,突破創新9彩彩票,布魯克第十代Dektak XT達到了過去五十年Dektak技術創新的頂峰,實現了zui高性能,鞏固了其行業地位,能夠在微電子,半導體,太陽能、超高亮度發光二極管(LED)、醫學、材料科學等行業實現納米級表面形貌測量。

· 無可匹敵的性能,臺階高度重現性低于 4 Å

       Dektak XT 是首部使用single-arch 設計的探針輪廓儀,特有single-arch 設計及智能電子器件9彩彩票,大大改善了設備穩定性,進一步提高防震性能。Dektak XT在測量臺階高度重復性方面具有優異的表現,臺階高度重復性可低于4Å9彩彩票。使用 single-arch 結構比原先的懸臂梁設計更加穩固,降低了對不利環境條件的敏感性,如聲音和震動噪音。Single-arch 結構和智能器件的聯用9彩彩票,大大降低了掃描臺的噪音9彩彩票。憑借 single-arch 結構的輔助9彩彩票,Dektak XT大大提高了電子器件的穩定性,減小誤差,使其在現有的探針輪廓儀競爭中脫穎而出。

· 專利的更換探針技術9彩彩票,讓一切變得輕松

       對多用戶儀器而言9彩彩票,能快速輕松更換探針以適應不同應用是必要的。Dektak XT 新的針尖自動校準,消除任何潛藏的針尖更換/校準隱患。這一創新讓其他困難并耗時的任務變得輕松且快速。為盡量滿足使用的要求9彩彩票,Bruker 提供了范圍廣泛的標準和客戶定制探針規格,包括用于深溝渠測量的高徑比針尖9彩彩票。

· LVDT:主流的微位移傳感技術,廣泛應用于航空航天等領域

       作為探針式表面輪廓儀zui核心的部件—傳感器,Dektak XT采用LVDT傳感器原理9彩彩票,即Linear Variable Differential Transformer線性可變差動變壓器,其優勢包括:無摩擦測量、無限的機械壽命、無限的分辨率、零位可重復性9彩彩票、軸向抑制、堅固耐用、環境適應性、輸入/輸出隔離。是目前zui成熟可靠精密的傳感器技術。

· 提高數據采集和分析速度

       利用獨特的直接驅動掃描平臺9彩彩票,Dektak XT 節約了掃描時間,且沒有影響分辨率和背景噪聲。這一改進大大提高了大范圍掃描3D 形貌或者對于表面應力長程掃描(就探針輪廓儀而言,通常是耗時的)的掃描速度。在保證行業的質量和重現性前提下,Dektak XT 可以將數據采集處理的速度提高 40%。另外,Dektak XT 采用 Bruker 64-Bit 數據采集分析同步操作軟件Vision649彩彩票,它可以提高大范圍 3D 形貌圖的高數據量處理速度9彩彩票,并且可以加快濾波器的工作速度和多模式掃描時的數據分析。Vision64 還具有行業內zui有效的直觀用戶界面9彩彩票,簡化了實驗操作設置,自動完成多掃描模式,讓重復和常規的實驗操作變得更快速簡潔9彩彩票。

 

Dektak XT 嚴謹的測試結果—多重應用

薄膜測試——檢測設計和性能

       Dektak 是唯yi能在大垂直范圍(高達1mm)9彩彩票,測量薄膜材料達到埃級重現性的探針輪廓儀9彩彩票。MEMS 和微流體技術行業的研究者能使用Dektak XT 來進行鑒定測試,確保零件符合規格9彩彩票。測試微納米級別的臺階高度、凹槽深度、粗糙度波紋度等,zui薄可以測到1納米厚度,測試范圍1mm以內9彩彩票。

半導體檢測——確保高產

       在半導體制造中嚴密監測沉積和蝕刻比率均勻性、薄膜應力9彩彩票,能節省大量時間和金錢。薄膜的不均勻或太大的應力會導致低產及成品性能欠佳。Dektak XT能方便快捷地設置和運行自動多點測試程序來檢驗晶片薄膜的精確厚度,達到納米級別9彩彩票。Dektak XT無與倫比的重現性提供給工程師精確的薄膜厚度和應力測試,來精確調節蝕刻和沉積以提供收益。

太陽能柵線分析——降低制造成本

       在太陽能市場,Dektak是測量單晶硅和多晶硅太陽能面板上導電銀柵線臨界尺寸的首xuan。銀線的高度9彩彩票9彩彩票、寬度和連續性與太陽能電池的能量引導緊密相關。生產的理想狀態是恰如其分地使用銀,以具有zui好的導電性9彩彩票,而不浪費昂貴的銀9彩彩票。Dektak XT通過軟件分析來實現,報告銀柵線的臨界尺寸,以確定出現導電性所需的精確分量。Vision64的數據分析方法和自動功能有助于該驗證過程的自動化。

 

 

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